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【资料图】

基金持仓集中度是指基金投资组合中，少数重仓股或特定行业资产占基金总资产的比例。持仓集中度高对基金的影响是多方面的，下面从收益、风险等角度进行分析。

从收益角度来看，持仓集中度高可能带来较高的潜在收益。当基金经理精准地选择了表现优异的股票或行业时，集中持仓能够让基金充分受益于这些优质资产的上涨。例如，某基金集中持有了新能源汽车产业链的相关股票，在新能源汽车行业快速发展、相关股票大幅上涨的时期，该基金的净值可能会大幅增长，为投资者带来丰厚的回报。因为集中投资使得基金在优势资产上的配置权重较大，资产价格的上涨会更显著地提升基金的整体价值。

然而，高持仓集中度也伴随着较高的风险。如果基金经理的判断出现失误，重仓持有的股票或行业表现不佳，基金的净值将会受到严重的负面影响。以科技股为例，如果某基金集中投资了科技股，而科技行业由于政策调整、技术瓶颈等原因出现下跌行情，那么该基金的净值可能会大幅缩水。此外，集中持仓还可能导致基金缺乏分散化投资的优势，无法通过不同资产之间的低相关性来降低整体风险。

从流动性方面考虑，持仓集中度高可能会影响基金的流动性。当基金需要大量卖出持仓股票来应对投资者赎回等情况时，如果持仓过于集中在少数股票上，可能会面临较大的流动性压力。因为大量抛售某一只股票可能会导致该股票价格下跌，从而进一步影响基金的净值。

以下是一个简单的表格，对比基金持仓集中度高和低的不同影响：

对于投资者来说，在选择基金时需要综合考虑自身的风险承受能力和投资目标。如果投资者风险承受能力较高，追求较高的收益，并且对基金经理的选股能力有信心，那么可以考虑持仓集中度较高的基金。相反，如果投资者更注重风险控制和资产的稳定性，那么持仓较为分散的基金可能更适合。

标签： 基金经理精准 基金时 指基金 基金总资

" alt="基金持仓集中度高有何影响？" src="


【资料图】

基金持仓集中度是指基金投资组合中，少数重仓股或特定行业资产占基金总资产的比例。持仓集中度高对基金的影响是多方面的，下面从收益、风险等角度进行分析。

从收益角度来看，持仓集中度高可能带来较高的潜在收益。当基金经理精准地选择了表现优异的股票或行业时，集中持仓能够让基金充分受益于这些优质资产的上涨。例如，某基金集中持有了新能源汽车产业链的相关股票，在新能源汽车行业快速发展、相关股票大幅上涨的时期，该基金的净值可能会大幅增长，为投资者带来丰厚的回报。因为集中投资使得基金在优势资产上的配置权重较大，资产价格的上涨会更显著地提升基金的整体价值。

然而，高持仓集中度也伴随着较高的风险。如果基金经理的判断出现失误，重仓持有的股票或行业表现不佳，基金的净值将会受到严重的负面影响。以科技股为例，如果某基金集中投资了科技股，而科技行业由于政策调整、技术瓶颈等原因出现下跌行情，那么该基金的净值可能会大幅缩水。此外，集中持仓还可能导致基金缺乏分散化投资的优势，无法通过不同资产之间的低相关性来降低整体风险。

从流动性方面考虑，持仓集中度高可能会影响基金的流动性。当基金需要大量卖出持仓股票来应对投资者赎回等情况时，如果持仓过于集中在少数股票上，可能会面临较大的流动性压力。因为大量抛售某一只股票可能会导致该股票价格下跌，从而进一步影响基金的净值。

以下是一个简单的表格，对比基金持仓集中度高和低的不同影响：

对于投资者来说，在选择基金时需要综合考虑自身的风险承受能力和投资目标。如果投资者风险承受能力较高，追求较高的收益，并且对基金经理的选股能力有信心，那么可以考虑持仓集中度较高的基金。相反，如果投资者更注重风险控制和资产的稳定性，那么持仓较为分散的基金可能更适合。

标签： 基金经理精准 基金时 指基金 基金总资

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近日

国内首部储能标准

《电化学储能电站设计标准》

完成全面修订并正式发布

将于2026年4月1日起实施

中国能建广东院

作为核心参编单位

以一线设计建设成果赋能标准完善

为电化学储能产业健康发展

注入坚实力量

《电化学储能电站设计标准》（GB/T 51048-2014）是中国首部针对电化学储能电站的综合性设计标准，自2014年首次发布以来，对推动行业规范化发挥了重要作用。

↑ 2009年，广东院EPC总承包建设国内首个兆瓦级储能电站——深圳宝清10兆瓦电池储能电站，并依托项目经验深度参与了该标准编制。

此次标准修订，是适应储能产业跨越式发展、应对安全挑战、服务国家能源战略的关键举措，标志着我国电化学储能电站的设计建设迈入高标准、强安全的新阶段。

新版《电化学储能电站设计标准》（GB/T 51048-2025）由中国电力企业联合会组织，南方电网调峰调频发电有限公司牵头编制。广东院凭借深厚的储能技术积淀、丰富的标杆项目实践及行业影响力，受邀成为核心参编单位。

标准编制启动后，广东院迅速组建专项技术团队，联动大型集中式储能、电网侧独立储能、海上风电配套储能等多场景数十个标杆项目设计与EPC总承包经验，全程参与标准框架搭建、条款研讨、案例验证与文本修订工作。

历经为期6年的打磨，新版标准在修编过程中得到了行业内的广泛参与和讨论。标准共14章，主要内容包括基本规定、站址选择、站区规划和总布置、接入系统、储能系统、电气、建筑与结构、采暖通风与空气调节、给排水、消防、节能环保和水土保持、劳动安全和职业卫生。

新版标准实施后，将有力推动全产业链强化安全意识、提升安全水平，引导技术创新与工程实践走向更安全、更可靠的方向，为新型储能大规模、高比例、市场化健康发展保驾护航。

" alt="国内首部储能标准，发布！" src="

近日

国内首部储能标准

《电化学储能电站设计标准》

完成全面修订并正式发布

将于2026年4月1日起实施

中国能建广东院

作为核心参编单位

以一线设计建设成果赋能标准完善

为电化学储能产业健康发展

注入坚实力量

《电化学储能电站设计标准》（GB/T 51048-2014）是中国首部针对电化学储能电站的综合性设计标准，自2014年首次发布以来，对推动行业规范化发挥了重要作用。

↑ 2009年，广东院EPC总承包建设国内首个兆瓦级储能电站——深圳宝清10兆瓦电池储能电站，并依托项目经验深度参与了该标准编制。

此次标准修订，是适应储能产业跨越式发展、应对安全挑战、服务国家能源战略的关键举措，标志着我国电化学储能电站的设计建设迈入高标准、强安全的新阶段。

新版《电化学储能电站设计标准》（GB/T 51048-2025）由中国电力企业联合会组织，南方电网调峰调频发电有限公司牵头编制。广东院凭借深厚的储能技术积淀、丰富的标杆项目实践及行业影响力，受邀成为核心参编单位。

标准编制启动后，广东院迅速组建专项技术团队，联动大型集中式储能、电网侧独立储能、海上风电配套储能等多场景数十个标杆项目设计与EPC总承包经验，全程参与标准框架搭建、条款研讨、案例验证与文本修订工作。

历经为期6年的打磨，新版标准在修编过程中得到了行业内的广泛参与和讨论。标准共14章，主要内容包括基本规定、站址选择、站区规划和总布置、接入系统、储能系统、电气、建筑与结构、采暖通风与空气调节、给排水、消防、节能环保和水土保持、劳动安全和职业卫生。

新版标准实施后，将有力推动全产业链强化安全意识、提升安全水平，引导技术创新与工程实践走向更安全、更可靠的方向，为新型储能大规模、高比例、市场化健康发展保驾护航。

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在3月12日举行的十四届全国人大四次会议第三场“部长通道”上，生态环境部部长黄润秋接受记者采访。

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黄润秋表示，人民群众对生态环境的满意度连续多年超过了90%。但是我们也要看到与美丽中国建设的目标相比，我们生态环境质量改善的基础还不够稳固，还有很多硬骨头需要我们去啃。

比如支流水体小微水体的污染问题，垃圾、固体废物、危险废物的随意倾倒和违法处置问题等。黄润秋说，“十五五”美丽中国建设的目标，就是要奔着这些问题去。

01.将重点治理“家门口”的污染

近年来，我国大江大河治理得很不错，但是在广大农村以及城乡结合部，一些小微水体、支流水体、坑塘沟渠的污染问题乃至黑臭问题还比较突出。生态环境部去年接到的投诉举报中，有四成涉及上述问题。黄润秋说，这些人民群众家门口的污染看起来小，但是直接关系到老百姓的福祉。

黄润秋表示，今年将出台深化水污染治理相关文件，将治理重点向农村地区、城乡结合部、县城进一步延伸。

02.环境监管已经迈进了数字化、信息化、智能化的新阶段

黄润秋表示，我国环境监管已经迈进了数字化、信息化、智能化的新阶段。我国有200多个国家级的监测点位和一批省级监测点位，目的是推动地方进一步做好小微水体的治理，让人民群众真真切切地感受到大美中国。

在现场，黄润秋还展示了一个DNA的检测信息的芯片。他说，这个芯片尽管体积很小，但是包含了长江江苏段19个国控断面，包括江豚等水生生物DNA的检测信息。结果显示，这个江段近5年来水生生物增加了20多种，这充分体现了长江十年禁渔实实在在的成效。

03.去年全国优良天数比例 创有监测以来最好水平

黄润秋介绍，去年全国PM2.5平均浓度降到28微克/立方米，优良天数比例达到89.3%，创有监测以来最好水平;“十四五”时期全国PM2.5浓度累计下降20%，重污染天数减少25%。

黄润秋表示，要抓住“十五五”碳达峰和《生态环境法典》出台的有利时机，推动产业结构、能源结构、交通运输结构的绿色低碳发展和新质生产力的发展，从源头上把污染物排放减下来，这才是治本之策。

全国地表水优良水质断面比例达到91.4%，连续两年超过了90%，远超“十四五”设定目标。长江干流连续6年、黄河干流连续4年水质稳定达到二类水质。

长江大保护十年来，长江流域优良水体比例提高30个百分点，江豚数量增长到1426头。青藏高原的藏羚羊已增长到30多万只，再现“万羊齐奔”的壮美景象。


" alt="生态环境部：今年水污染治理重心向农村、县城等延伸" src="

在3月12日举行的十四届全国人大四次会议第三场“部长通道”上，生态环境部部长黄润秋接受记者采访。

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黄润秋表示，人民群众对生态环境的满意度连续多年超过了90%。但是我们也要看到与美丽中国建设的目标相比，我们生态环境质量改善的基础还不够稳固，还有很多硬骨头需要我们去啃。

比如支流水体小微水体的污染问题，垃圾、固体废物、危险废物的随意倾倒和违法处置问题等。黄润秋说，“十五五”美丽中国建设的目标，就是要奔着这些问题去。

01.将重点治理“家门口”的污染

近年来，我国大江大河治理得很不错，但是在广大农村以及城乡结合部，一些小微水体、支流水体、坑塘沟渠的污染问题乃至黑臭问题还比较突出。生态环境部去年接到的投诉举报中，有四成涉及上述问题。黄润秋说，这些人民群众家门口的污染看起来小，但是直接关系到老百姓的福祉。

黄润秋表示，今年将出台深化水污染治理相关文件，将治理重点向农村地区、城乡结合部、县城进一步延伸。

02.环境监管已经迈进了数字化、信息化、智能化的新阶段

黄润秋表示，我国环境监管已经迈进了数字化、信息化、智能化的新阶段。我国有200多个国家级的监测点位和一批省级监测点位，目的是推动地方进一步做好小微水体的治理，让人民群众真真切切地感受到大美中国。

在现场，黄润秋还展示了一个DNA的检测信息的芯片。他说，这个芯片尽管体积很小，但是包含了长江江苏段19个国控断面，包括江豚等水生生物DNA的检测信息。结果显示，这个江段近5年来水生生物增加了20多种，这充分体现了长江十年禁渔实实在在的成效。

03.去年全国优良天数比例 创有监测以来最好水平

黄润秋介绍，去年全国PM2.5平均浓度降到28微克/立方米，优良天数比例达到89.3%，创有监测以来最好水平;“十四五”时期全国PM2.5浓度累计下降20%，重污染天数减少25%。

黄润秋表示，要抓住“十五五”碳达峰和《生态环境法典》出台的有利时机，推动产业结构、能源结构、交通运输结构的绿色低碳发展和新质生产力的发展，从源头上把污染物排放减下来，这才是治本之策。

全国地表水优良水质断面比例达到91.4%，连续两年超过了90%，远超“十四五”设定目标。长江干流连续6年、黄河干流连续4年水质稳定达到二类水质。

长江大保护十年来，长江流域优良水体比例提高30个百分点，江豚数量增长到1426头。青藏高原的藏羚羊已增长到30多万只，再现“万羊齐奔”的壮美景象。


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生态环境部：今年水污染治理重心向农村、县城等延伸

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北京时间3月18日，欧冠1/8决赛次回合，曼城1-2皇家马德里。赛后，曼城主帅瓜迪奥拉接受了亚马逊体育的采访。



佩普，球队开局非常出色，球场周围气氛热烈，但今晚注定不属于我们。​

是的，这就是11人对11人时本可能呈现的局面。0-4落后且10人应战确实艰难，但我们付出了全部。​


球队大部分时间以10人应战，你对他们今晚的表现有何感受？​

我们拥有一支非凡的球队，一群非凡的球员，未来一片光明。​


这是否是在这样的夜晚需要吸取的教训？毕竟你2023年的那支球队也经历过一些磨难，最终赢得了胜利。​

确实需要吸取一些教训，但有些情况难以预料。你永远不知道结果会怎样，也许我们会输6球，但事实就是如此。​


是啊，会有一种“如果”的感觉。如果你们能把握住开场那几次射门机会，现在的局面可能就不一样了。​

库尔图瓦是一位出色的门将。上半场前15到20分钟，我们的表现很不错。之后即便10人应战，我们本也有机会进球，但这难度太大了。​


阿韦洛亚刚刚称库尔图瓦是历史上最好的门将。​

好的。​


这能看出他们有多自豪，显然也有多依赖他。​

是的。他通常都是球场上表现最出色的球员，这也能说明我们的实力。我知道我们该如何踢。如果能再有一次11人对11人的机会就好了。​


伯纳多-席尔瓦表现如何？这是他职业生涯中的第一张红牌。


没错。那是本能反应，却受到了严厉的处罚——点球加红牌，但事情已经发生了。​

【上咪咕独家看英超】

标签：曼城皇家马德里" alt="瓜帅：我们有一支非凡的球队，一群非凡的球员，未来一片光明" src="　

北京时间3月18日，欧冠1/8决赛次回合，曼城1-2皇家马德里。赛后，曼城主帅瓜迪奥拉接受了亚马逊体育的采访。



佩普，球队开局非常出色，球场周围气氛热烈，但今晚注定不属于我们。​

是的，这就是11人对11人时本可能呈现的局面。0-4落后且10人应战确实艰难，但我们付出了全部。​


球队大部分时间以10人应战，你对他们今晚的表现有何感受？​

我们拥有一支非凡的球队，一群非凡的球员，未来一片光明。​


这是否是在这样的夜晚需要吸取的教训？毕竟你2023年的那支球队也经历过一些磨难，最终赢得了胜利。​

确实需要吸取一些教训，但有些情况难以预料。你永远不知道结果会怎样，也许我们会输6球，但事实就是如此。​


是啊，会有一种“如果”的感觉。如果你们能把握住开场那几次射门机会，现在的局面可能就不一样了。​

库尔图瓦是一位出色的门将。上半场前15到20分钟，我们的表现很不错。之后即便10人应战，我们本也有机会进球，但这难度太大了。​


阿韦洛亚刚刚称库尔图瓦是历史上最好的门将。​

好的。​


这能看出他们有多自豪，显然也有多依赖他。​

是的。他通常都是球场上表现最出色的球员，这也能说明我们的实力。我知道我们该如何踢。如果能再有一次11人对11人的机会就好了。​


伯纳多-席尔瓦表现如何？这是他职业生涯中的第一张红牌。


没错。那是本能反应，却受到了严厉的处罚——点球加红牌，但事情已经发生了。​

【上咪咕独家看英超】

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瓜帅：我们有一支非凡的球队，一群非凡的球员，未来一片光明

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和碩指出，第四季受惠資訊及消費性電子產品需求暢旺，加上通訊產品進入傳統旺季營收，推升營收季增逾 2 成。 

和碩 2025 年營收 1.12 兆元，年減 0.7%；毛利率 3.8%，年減 0.3 個百分點；營益率 1%，年減 0.1 個百分點；稅後純益 144.03 億元，年減 14.7%，每股純益 5.39 元。和碩指出，2025 年毛利率年減，主要受到去年第二季匯率波動與消費性電子需求轉弱。 

若以三大事業第四季表現來看，資訊產品受惠強勁的出貨表現及新業務挹注，營收季增 28%，年增 52%；消費性電子產品方面，同樣受惠出貨改善，表現維持穩定，營收季增 9%，年對年持平；通訊產品部分，營收季增 29%，主要由第四季旺季的剛需帶動，不過受到智慧型手機業務的產品組合影響，營收年減 14%。 

展望後市，共同執行長鄧國彥指出，資訊產品第一季適逢傳統淡季，預期將季減雙位數，不過第二季可望看到 AI PC 回溫，看好筆電與 PC 第二季季對季成長。但鄧國彥坦言，雖目前記憶體供貨吃緊對和碩無太大影響，但仍須觀察原物料供應的狀況，全年筆電展望將跟著地緣政治及記憶體等物料的供應情況而有所不同，整體而言，可能年增個位數百分比，但也可能年減個位數百分比。 

消費性電子產品方面，由於旺季已過，預期第一季將衰退，不過第二季開始有新專案挹注，季對季將成長，全年在遊戲機與 IoT 皆有新機種加入的挹注下，動能可期；至於通訊產品，預期第二季回補力道將優於第一季，其中，網通產品全年展望正向。 

" alt="〈和碩法說〉2025年EPS 5.39元 擬配發每股4元現金股利" src="

和碩 2025 年第四季營收 3195.28 億元，季增 23.9%，年減 2.3%；毛利率 4.1%，季減 0.1 個百分點，年增 0.5 個百分點；營益率 1.4%，季增 0.2 個百分點，年增 0.5 個百分點；稅後純益 52.67 億元，季增 15.9%，年增 40.9%，每股純益 1.97 元。 

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和碩指出，第四季受惠資訊及消費性電子產品需求暢旺，加上通訊產品進入傳統旺季營收，推升營收季增逾 2 成。 

和碩 2025 年營收 1.12 兆元，年減 0.7%；毛利率 3.8%，年減 0.3 個百分點；營益率 1%，年減 0.1 個百分點；稅後純益 144.03 億元，年減 14.7%，每股純益 5.39 元。和碩指出，2025 年毛利率年減，主要受到去年第二季匯率波動與消費性電子需求轉弱。 

若以三大事業第四季表現來看，資訊產品受惠強勁的出貨表現及新業務挹注，營收季增 28%，年增 52%；消費性電子產品方面，同樣受惠出貨改善，表現維持穩定，營收季增 9%，年對年持平；通訊產品部分，營收季增 29%，主要由第四季旺季的剛需帶動，不過受到智慧型手機業務的產品組合影響，營收年減 14%。 

展望後市，共同執行長鄧國彥指出，資訊產品第一季適逢傳統淡季，預期將季減雙位數，不過第二季可望看到 AI PC 回溫，看好筆電與 PC 第二季季對季成長。但鄧國彥坦言，雖目前記憶體供貨吃緊對和碩無太大影響，但仍須觀察原物料供應的狀況，全年筆電展望將跟著地緣政治及記憶體等物料的供應情況而有所不同，整體而言，可能年增個位數百分比，但也可能年減個位數百分比。 

消費性電子產品方面，由於旺季已過，預期第一季將衰退，不過第二季開始有新專案挹注，季對季將成長，全年在遊戲機與 IoT 皆有新機種加入的挹注下，動能可期；至於通訊產品，預期第二季回補力道將優於第一季，其中，網通產品全年展望正向。 

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〈和碩法說〉2025年EPS 5.39元 擬配發每股4元現金股利

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讯（见习记者 陈佳琳）昨天，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕式在浦东源深体育中心举行。

2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕 市委政法委供图（下同）

开幕式上，参赛队伍举行了入场仪式，裁判员代表和运动员代表分别宣誓，表示要用良好的赛风赛纪展现出新时代上海政法铁军的风采。上海政法篮球联队与上海久事篮球青年队开展揭幕赛。

据悉，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛，是上海政法文化建设年的首场活动，也是近年来上海政法系统首次举行的大型文体活动，旨在贯彻落实中央政法委关于文化育警、体育强警的要求，把内强素质、外塑形象与锻造忠诚、干净、担当的新时代政法铁军紧密结合，帮助全体干警树立挑战自我，超越自我的精神追求，以昂扬向上、奋发有为的状态迎接建党103周年。来自市委政法委、市政法各单位的共16支队伍纷纷表示，将在赛场上一比身手、一展风采，赛出斗志、赛出水平。

市委政法委委员、市政法各单位领导班子成员、各区委政法委书记，以及全市政法系统代表共3000多人观摩了开幕式。

" alt="赛出斗志、赛出水平，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕" src="

讯（见习记者 陈佳琳）昨天，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕式在浦东源深体育中心举行。

2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕 市委政法委供图（下同）

开幕式上，参赛队伍举行了入场仪式，裁判员代表和运动员代表分别宣誓，表示要用良好的赛风赛纪展现出新时代上海政法铁军的风采。上海政法篮球联队与上海久事篮球青年队开展揭幕赛。

据悉，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛，是上海政法文化建设年的首场活动，也是近年来上海政法系统首次举行的大型文体活动，旨在贯彻落实中央政法委关于文化育警、体育强警的要求，把内强素质、外塑形象与锻造忠诚、干净、担当的新时代政法铁军紧密结合，帮助全体干警树立挑战自我，超越自我的精神追求，以昂扬向上、奋发有为的状态迎接建党103周年。来自市委政法委、市政法各单位的共16支队伍纷纷表示，将在赛场上一比身手、一展风采，赛出斗志、赛出水平。

市委政法委委员、市政法各单位领导班子成员、各区委政法委书记，以及全市政法系统代表共3000多人观摩了开幕式。

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赛出斗志、赛出水平，2024年上海政法系统“政法先锋杯”篮球比赛开幕

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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。


同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：


背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：


先进逻辑芯片制造


中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造（2024-2025 年）


外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。


一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。


同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。


行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。


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二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑


DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：


1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

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2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。


三、高难度场景的应用突破


PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：


背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测


键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。


3D DRAM检测


3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


DRAM 阵列短路检测


独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


四、行业落地实践与全流程应用


自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：


先进逻辑芯片制造


中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估


先进 DRAM 制造（2024-2025 年）


外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


技术总结


在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。


该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

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DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用

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屡获殊荣，主动扛起行业责任

据悉，浴旺已经不是第一次受邀参加3·15晚会，并受到权威媒体和相关部门的认可。去年3·15期间，浴旺不仅在晚会上，成功斩获“2025广东3·15消费者满意品牌”称号，还成功入围“2025广东3·15消费维权打假工程”，被评选为“广东315优质企业名录三十强”，与联合利华、索菲亚等知名企业一同跻身诚信经营典范。

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从2011年创立至今，浴旺的每一步成长，都离不开对品质的坚守与对诚信的执着。相信未来，浴旺会继续传承品质初心，以更高标准把控产品品质，以更严苛的要求践行诚信承诺，持续为消费者带来更优质的产品与服务，同时发挥行业标杆作用，带动行业同仁共同规范经营、提升品质，推动智能卫浴行业迈向高质量发展，为“提升消费品质、共创美好生活”贡献力量！

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行业唯一丨浴旺智能暗装LED情调淋浴花洒受邀参加2026广东3.15晚会

责编：王小微 时间：2026-03-16 热度：38200 摘要：随着3·15临近，品质与诚信再次成为全社会热议的核心议题，而相关晚会也成为无数消费者关注的焦点。在此背景下，浴旺智能暗装LED情调淋浴花洒近日传出消息，将受邀参加2026广东3·15晚会，成为本次晚会卫浴行业唯一受邀的智能暗装LED情调淋浴品牌。

随着3·15临近，品质与诚信再次成为全社会热议的核心议题，而相关晚会也成为无数消费者关注的焦点。在此背景下，浴旺智能暗装LED情调淋浴花洒近日传出消息，将受邀参加2026广东3·15晚会，成为本次晚会卫浴行业唯一受邀的智能暗装LED情调淋浴品牌。这一消息，意味着浴旺再次得到权威认可，成为坚守品质与践行诚信的典范。

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